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工業(yè)氣體、標準氣體、高純氣體的發(fā)展趨勢?

2021-05-28 17:05:05

       近幾年來,隨著國防工業(yè)、科研、自動化技術、精密測試,尤其是微電子技術的發(fā)展,特種氣體產(chǎn)業(yè)也在興起,下面就一起來看看2021年工業(yè)氣體、標準氣、高純氣的發(fā)展狀況吧!

近幾年來,隨著國防工業(yè)、科研、自動化技術、精密測試,尤其是微電子技術的發(fā)展,特種氣體工業(yè)迅速發(fā)展。特氣是工業(yè)氣體的一個新門類,按應用領域分為工業(yè)氣體、高純氣體、標準氣體三大類。

近幾年來,隨著下游應用領域的逐步擴大,特種氣體的種類不斷增加,據(jù)不完全統(tǒng)計,我國現(xiàn)有特種氣體260多種。

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       隨著無低溫氣體分離(吸附、膜分離)、混合及凈化技術的發(fā)展,越來越多的特種氣體產(chǎn)品將逐漸進入市場。主要有氫化物(超純氫、硅烷、磷烷等)、氟化物(六氟化硫、三氟化氮、四氟化硅等)、碳氟化合物(四氟化碳、六氟乙烷等)。當前我國電子氣體種類繁多,但與發(fā)達國家相比,其數(shù)量和質量仍有較大差距。由于半導體和微電子工業(yè)的迅速發(fā)展,對電子氣體的種類、量、質和純度的要求越來越高。

標準氣分為單標準氣和多標準氣。標準氣體在我國目前已基本滿足石油、化工、環(huán)保和傳感器校準等領域的應用。而對于活性較強的標準氣,國內(nèi)還沒有完全解決氯標氣、氯化氫標氣等量產(chǎn)難題。

如氧、氮、氫、氦氣、氬氣等,一般純度在99.999%以上,而高純氣體則為大家所熟知。高純氣主要應用于超大型集成電路和分離器、光電器件、其他高新技術領域。目前國內(nèi)企業(yè)生產(chǎn)的高純氣主要是通過精餾分離制得的,國外一些高純氣的制備中采用吸附凈化法,實現(xiàn)了常壓凈化和高壓純化充瓶。國產(chǎn)科技進入這個領域雖有突破,但純化技術仍需改進。

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