一般說來，能夠生產(chǎn)純氣體、高純氣體、電子工業(yè)用氣體產(chǎn)品的企業(yè)，都有一定的技術(shù)力量和儀器設(shè)備，管理也十分到位。標(biāo)準(zhǔn)的實施雖然一般沒有什么大的問題，但微量雜質(zhì)的分析問題可能是它們共同的難點(diǎn)所在。

電子工業(yè)用氣體是一種有特殊用途的氣體，在半導(dǎo)體、集成電路的生產(chǎn)中，或者用于氣相淀積、離子注入、等離子工藝，或者用于蝕刻、鈍化、外延、摻雜，或者作為載氣、加壓、清洗、保護(hù)、覆蓋、濺射、退火、擴(kuò)散等等。它們對使用有害的雜質(zhì)的要求相當(dāng)嚴(yán)格，集成度越高，要求越高。

哈爾濱工業(yè)氣體公司帶您了解與純氣體、高純氣體不同，電子工業(yè)用氣體標(biāo)準(zhǔn)關(guān)心的是于使用有害的雜質(zhì)，而于使用無害的雜質(zhì)通常不予規(guī)定，雜質(zhì)及其含量指標(biāo)由使用要求確定，對于諸如氧、水等具有氧化性或還原性的雜質(zhì)要求往往特別嚴(yán)格，氣體的純度由雜質(zhì)含量確定，低純度97%，純度要求已達(dá)到99.99999%。

純氣體、高純氣體重在氣體的純度，考慮了所有可能存在的雜質(zhì)，雜質(zhì)含量隨純度確定。純氣體的純度通常在99.99%以上，高純氣體通常在99.999%以上。純度很高的高純氣體不一定能符合電子工業(yè)用氣的要求；反之，純度較低的氣體產(chǎn)品不一定不能用于電子工業(yè)，關(guān)鍵是含有的雜質(zhì)水平是否滿足使用要求。

我國現(xiàn)行的電子工業(yè)用氣體標(biāo)準(zhǔn)幾乎都是采用SEMI（半導(dǎo)體設(shè)備與材料國際組織）標(biāo)準(zhǔn)而制定的，今后可能也一樣。SEMI是一個有1200多個企業(yè)參加的、組織半導(dǎo)體設(shè)備和材料方面的國際展覽、技術(shù)交流、制定標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的一個國際組織。SEMI制定的標(biāo)準(zhǔn)，保持了技術(shù)上的先進(jìn)性。密切結(jié)合微電子技術(shù)的發(fā)展，反映了當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)的國際水平，有較強(qiáng)的科學(xué)試驗依據(jù)和生產(chǎn)技術(shù)的支持，具有較高的科學(xué)性、先進(jìn)性、實用性，內(nèi)容較全面，標(biāo)準(zhǔn)配套。在一定意義上，已成為半導(dǎo)體工業(yè)的國際性語言。